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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0467618(A) 申请公布日期 1992.03.03
申请号 JP19900181015 申请日期 1990.07.09
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 HANAKI YOSHIMITSU
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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