| 发明名称 |
DETECTION EQUIPMENT OF BOAT SETTING ATTITUDE IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0465855(A) |
申请公布日期 |
1992.03.02 |
| 申请号 |
JP19900178943 |
申请日期 |
1990.07.06 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NISHIUCHI HIROYUKI;IKEDA FUMIHIDE |
| 分类号 |
H01L21/68;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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