发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0456140(A) 申请公布日期 1992.02.24
申请号 JP19900162652 申请日期 1990.06.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKATANI SHINICHIRO;UMEMOTO YASUNARI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812;H01S5/00;H01S5/042 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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