发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0456140(A) |
申请公布日期 |
1992.02.24 |
申请号 |
JP19900162652 |
申请日期 |
1990.06.22 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKATANI SHINICHIRO;UMEMOTO YASUNARI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812;H01S5/00;H01S5/042 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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