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发明名称 MECHELSON INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH06341809(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19930130538 申请日期 1993.06.01
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 NOGUCHI HIRONORI;INAGAKI AKIRA;IIDA JUNICHI;NARUMI TATSUYA
分类号 G01B9/02;G01B11/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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