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发明名称 PREPARATION OF COATING SOLUTION FOR FORMING SILICA FILM, COATING SOLUTION FOR FORMING SILICA FILM, PREPARATION OF SILICA FILM, SILICA FILM, AND DEVICE COATED WITH THE FILM
摘要
申请公布号 JPH0453832(A) 申请公布日期 1992.02.21
申请号 JP19900163237 申请日期 1990.06.21
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 SHIMAMURA YASUO;MORISHIMA HIROYUKI;UCHIMURA SHUNICHIRO;SATO TONOBU
分类号 B05D3/02;B05D5/12;B05D7/24;C08G77/04;C08G77/06;C09D183/04;H01L21/312;H01L21/768 主分类号 B05D3/02
代理机构 代理人
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