| 摘要 |
<p>Es wird eine Anordnung zum Lagern und Transportieren von Substraten unter Reinraumbedingung und zum Einschleusen der Substrate in einen Reinraum beschrieben. Die Substrate sind einzeln in Kassetten aufgenommen, die formschlüssig stapelbar sind. Die Kassetten werden mit einem Hubwerk vor einem Beladeschlitz des Reinraumes positioniert. Eine seitliche Verschlußklappe der Kassette wird geöffnet und das Substrat wird auf einer Substratschublade in den Beladeschlitz ausgefahren.</p> |
