| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0451530(A) |
申请公布日期 |
1992.02.20 |
| 申请号 |
JP19900159701 |
申请日期 |
1990.06.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUKUI TOSHIHIKO;IMAMURA YOSHINORI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/338;H01L23/52;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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