发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0444214(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900149214 申请日期 1990.06.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MORITA NAOYUKI
分类号 G03F7/16;B05D1/40;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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