发明名称 METHOD OF PRODUCING INTERLAYER INSULATION IN PRODUCTION OF INTEGRAL MICROCIRCUITS
摘要
申请公布号 SU1711269(A1) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 SU19904819463 申请日期 1990.04.27
申请人 MI RADIOTEKHNICHESKIJ INSTITUT 发明人 KOVALEVSKIJ ALEKSANDR A,SU
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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