发明名称 ELECTRONIC COMPONENT TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0436671(A) 申请公布日期 1992.02.06
申请号 JP19900143639 申请日期 1990.05.31
申请人 YOKOGAWA HEWLETT PACKARD LTD 发明人 KURITA ATSUSHI;YAMADA YOICHIRO;HIWADA KIYOYASU;KUWANO SHIGERU
分类号 G01R31/28;G01R31/316;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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