| 发明名称 |
POLISHING DEVICE USING FROZEN PARTICLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0435872(A) |
申请公布日期 |
1992.02.06 |
| 申请号 |
JP19900138277 |
申请日期 |
1990.05.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HISASUE AKIKO;SUGANO ITARU;FUKUMOTO HAYAAKI |
| 分类号 |
B24C1/00;B24C7/00;B24C11/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B24C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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