发明名称 METHOD OF FORMING BARRIER METAL
摘要
申请公布号 JPH0435024(A) 申请公布日期 1992.02.05
申请号 JP19900139901 申请日期 1990.05.31
申请人 SONY CORP 发明人 SUMI HIROBUMI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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