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发明名称 ION BEAM IRRADIATING DEVICE ION BEAM SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0419953(A) 申请公布日期 1992.01.23
申请号 JP19900122485 申请日期 1990.05.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MORI HARUHISA;KASE MASATAKA
分类号 C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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