| 主权项 |
1.一种制作场感测奈米球尖探针之方法,其至少包 含有下列步骤: (a)准备一矽探针,该矽探针上并没有镀任何金属膜 ; (b)准备一承载基板,该承载基板表面上具有复数个 孔洞; (c)并将预定含有金属离子之电解液注入承载基板 的孔洞内; (d)再将矽探针尖端与承载基板孔洞内的电解液面 进行点接触,并同时施加一直流偏压于矽探针尖端 ; 经由上述步骤,即可让矽探针尖端进行还原反应, 反应后即可在探针尖端形成奈米金属球结构。 2.如申请专利范围第1项所述之一种场感测奈米球 尖探针之方法,其中该承载基板系与一电极连接。 图式简单说明: 图一系为本发明方法之流程示意图; 图二A系为本发明之动作一立体剖视流程示意图; 图二B系为本发明之动作二立体剖视流程示意图; 图二C系为本发明之动作三立体剖视流程示意图; 图二D系为本发明之动作四立体剖视流程示意图; 图二E系为本发明之动作五立体剖视流程示意图; 图三A系为本发明之动作一平面流程示意图; 图三B系为本发明之动作二平面流程示意图; 图三C系为本发明之动作三平面流程示意图。 |
