发明名称 PREPARATION OF WAFER SCALE INTEGRATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0412550(A) 申请公布日期 1992.01.17
申请号 JP19900111787 申请日期 1990.05.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI TAKAAKI;MURAO TOSHIAKI;BUNGO KEIICHI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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