| 主权项 |
1﹒一种雷射加工装置之光轴偏差量检测器,具有:一底板系以可拆卸方式装设在一工作物移送装置上(worktransferdevice),该工作物移送装置系以可于x轴与y轴方向移动之方式装投在雷射加工装置上,多数之感像器系以某一点当作中心而径向设置于该底板之上表面上,且设有一显示装置,俾于自雷射共振器发出之雷射光束照射至该每一感像器时,根据至少该等感像器之位置之三个点,以显示计算所求得之该雷射光束之轴心位置者。2﹒如请求专利部份第1项所述之检测器,其中,该多数之感像器系装设在一考板上,而且该每一感像器具备一受光部,该受光部中之多数之由半导蚀制成之亦受光元件系呈直线布置者。3﹒如请求专利部份第1.2项所述之检测器,其中设雷射加工装置具备一支持该底板用之底座,以及一支持一可上下调整之聚光透镜与多数之可将雷射共振器发出之当射光束适当地予以曲折之光束曲折器用之架空横梁,其中,雷射光束系垂直地照射在该底部之上表面上者。 |
