发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH046876(A) 申请公布日期 1992.01.10
申请号 JP19900109468 申请日期 1990.04.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ARINAGA KENJI
分类号 H01L21/764;H01L21/76;H01L27/146 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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