发明名称 ION IMPLANTATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH046740(A) 申请公布日期 1992.01.10
申请号 JP19900106454 申请日期 1990.04.24
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TSUKAGOSHI OSAMU;SUGIMOTO RIKAO;MIHARA YASUO
分类号 H01J37/08;H01J37/317;H01J49/06;H01J49/26;H01L21/265 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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