发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER ZWEI-WANNEN-CMOS-HALBLEITERSTRUKTUR.
摘要
申请公布号 DE3584757(D1) 申请公布日期 1992.01.09
申请号 DE19853584757 申请日期 1985.09.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 KINNEY, WAYNE IRVING, ALBUQUERQUE NEW MEXICO 87111, US;KOBURGER, CHARLES WILLIAM, UNDERHILL VERMONT 05489, US;LASKY, JEROME BRETT, ESSEX JUNCTION VERMONT 05452, US;NESBIT, LARRY ALAN, WILLISTON VERMONT 05495, US;WHITE, FRANCIS ROGER;TROUTMAN, RONALD ROY, ESSEX JUNCTION VERMONT 05452, US
分类号 H01L27/08;H01L21/033;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/00 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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