发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH043918(A) 申请公布日期 1992.01.08
申请号 JP19900104835 申请日期 1990.04.20
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE MASAHIDE
分类号 H01L21/28;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/263 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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