发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 US5078824(A) 申请公布日期 1992.01.07
申请号 US19900492139 申请日期 1990.03.13
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 FUJIMURA, SHUZO
分类号 H01L21/302;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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