| 发明名称 |
PRODUCTION OF PHASE SHIFT TYPE DIFFRACTION GRATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH041703(A) |
申请公布日期 |
1992.01.07 |
| 申请号 |
JP19900101590 |
申请日期 |
1990.04.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP |
发明人 |
MAKUTA AKIO |
| 分类号 |
G02B5/18;G02B6/124;G03F7/00;H01L21/308;H01S5/00;H01S5/12;(IPC1-7):G02B5/18;H01S3/18 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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