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发明名称 TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03288569(A) 申请公布日期 1991.12.18
申请号 JP19900086091 申请日期 1990.03.31
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK 发明人 KURODA YUKITERU;TAGAMI KOICHI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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