| 发明名称 | 基板搬送装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基板搬送装置。本发明一实施例涉及的基板搬送装置(100)的特征在于，包括：搬送部(110)，其与基板(10)的上部面相向，以非接触式支持基板(10)的上部面；以及主体部(150)，其包括用于向搬送部(110)提供气体(g)以及真空(v)的流路，其中，搬送部(110)具有用于喷出气体(g)的气体喷射支持部(130‑136、140‑146)以及用于提供真空(v)的真空支持部(120‑128)。 | ||
| 申请公布号 | CN106409736A | 申请公布日期 | 2017.02.15 |
| 申请号 | CN201610349437.5 | 申请日期 | 2016.05.24 |
| 申请人 | TGO科技株式会社 | 发明人 | 李裕进;李在鹤 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 姜虎;陈英俊 |
| 主权项 | 一种基板搬送装置，其特征在于，包括：搬送部，其与基板的上部面相向，以非接触式支持所述基板的上部面；以及主体部，其包括用于向所述搬送部提供气体(gas)以及真空(vacuum)的流路，其中，所述搬送部具有用于喷出所述气体的气体喷射支持部以及用于提供所述真空的真空支持部。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||