加弧辉光离子渗金属技术及设备

摘要

本发明属于表面冶金范畴。它是利用稀薄气体中的辉光放电及溅射现象，在工件周围设置辅助源极；同时利用真空电弧放电现象，在容器壁上设置一个或多个阴极电弧靶，作为主金属源。在对工件施加负偏压作用下，工件升至高温，依靠欲渗金属离子的轰击与扩散，使工件表面获得具有特殊物理、化学、机械性能的纯金属层、合金层、合金镀层及化合物渗、镀层。达到提高渗金属速度及质量，优化工件表面性能的目的。

主权项

1、本发明是在一个可以抽成真空并能充入气体介质的密封容器内，设置可以转动的阴极，工件置于阴极基板上，在工件周围设置一个用欲渗元素金属制成的辅助源极。在作为共用阳极的炉罩和辅助源极间以及炉罩和阴极间分别连接一个连续可调的直流电源(0-2000V)。在炉罩上不同方位设置一个或多个金属阴极电弧源，并设有引弧装置，在共用阳极(炉罩)和阴极电弧源之间，连接一个可调低电压直流电源(0-100V，0-200A)。通过本技术和设备利用辉光放电与弧光放电的离子溅射作用，使金属材料及另件表面形成和基体性能不同的，具有特殊物理、化学、机械性能的纯金属层、合金层和渗镀结合层以及化合物渗镀层。