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发明名称 SUBSTRATE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03286529(A) 申请公布日期 1991.12.17
申请号 JP19900088935 申请日期 1990.04.03
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK 发明人 SHIRAKAWA HIDEKAZU;MATSUMURA KIMIHARU;KAMIKAWA YUJI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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