发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03285327(A) 申请公布日期 1991.12.16
申请号 JP19900087715 申请日期 1990.04.02
申请人 SHARP CORP 发明人 KASAI SHUSUKE;YAMAMOTO OSAMU;KONDO MASAKI;SASAKI KAZUAKI;MATSUMOTO AKIHIRO
分类号 H01L21/205;H01S5/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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