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发明名称 METHOD FOR HEAT TREATING COMPOUND SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 JPH03283533(A) 申请公布日期 1991.12.13
申请号 JP19900083089 申请日期 1990.03.30
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 BENZAKI KIYOTAKA
分类号 H01L21/324;H01L21/265 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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