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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03281776(A)
申请公布日期
1991.12.12
申请号
JP19900081908
申请日期
1990.03.29
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORP
发明人
MURAKAMI YOSHIO;SHINGYOUCHI TAKAYUKI
分类号
C23C14/34;H01L21/203
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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