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经营范围
发明名称
HIGH RESOLUTION SPECTROSCOPIC ARRANGEMENT
摘要
申请公布号
EP0313968(B1)
申请公布日期
1991.12.11
申请号
EP19880117335
申请日期
1988.10.18
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
ALBERTSHOFER, WOLFGANG, DIPL.-ING.;MUELLER, RUDOLF, PROF. DR.
分类号
G01J3/36;G01J3/26;G01J3/28;H01L27/144;H01L31/0216;H01L31/10
主分类号
G01J3/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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