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发明名称 DIFFRACTION INTERFERENCE TYPE ENCODER
摘要
申请公布号 JPH03279812(A) 申请公布日期 1991.12.11
申请号 JP19900081527 申请日期 1990.03.29
申请人 NIKON CORP 发明人 TANITSU OSAMU
分类号 G01D5/38 主分类号 G01D5/38
代理机构 代理人
主权项
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