ULTRAVIOLET-RAY IRRADIATION APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER,申请号JP19900079232-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ULTRAVIOLET-RAY IRRADIATION APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	JPH03278517(A)	申请公布日期	1991.12.10
申请号	JP19900079232	申请日期	1990.03.28
申请人	NEC CORP	发明人	TOKUNO KENICHI
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址

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