发明名称 WAFER HEAT TREATMENT JIG
摘要
申请公布号 JPH03274724(A) 申请公布日期 1991.12.05
申请号 JP19900073195 申请日期 1990.03.26
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 NAKAMURA KENJI
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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