发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED-CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03270261(A) 申请公布日期 1991.12.02
申请号 JP19900071599 申请日期 1990.03.20
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 UCHIDA HIROMI;AKITA SHUNSUKE;TEZUKA IZUMI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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