发明名称 MICROSCOPE FOR MEASURING INTERATOMIC FORCE AND FRICTION FORCE
摘要
申请公布号 JPH03259728(A) 申请公布日期 1991.11.19
申请号 JP19900059632 申请日期 1990.03.09
申请人 NIKON CORP 发明人 FUJII TORU
分类号 G01B21/20;G01N3/56;G01N19/02;G01N37/00;G01Q20/00;G01Q60/02;G01Q60/24;G01Q60/26 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
主权项
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