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发明名称
摘要
申请公布号
JPH03101850(U)
申请公布日期
1991.10.23
申请号
JP19900011298U
申请日期
1990.02.06
申请人
发明人
分类号
H01J37/16;H01J37/305;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/16
主分类号
H01J37/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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