低电流或低功耗热催化元件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种甲烷传感器—低电流或低功耗催化元件及其制造方法，该产品由基片、铂膜电阻、隔离层、引线构成管芯，外覆r晶形的Al2O3载体及催化剂的黑元件与管脚、管座构成。该制造方法主要采用溅射工艺在基片上形成钛过渡层与铂膜电阻，再经热处理后在其上制作隔离层、载体及催化剂。用此法制得的产品具有低电流或低功耗、抗震性能好、抗激活能力强、有本质安全型的特点，更适于在有爆炸性气体的环境中使用。

主权项

1.一种供甲烷检测用的低电流或低功耗热催化元件，由管座、管芯，外复具有一定晶形的载体(白元件)及由将白元件表浸渍催化剂所形成的具有活性的黑元件构成，其特征在所说的管芯由基片(1)、铂膜电阻(2)覆盖铂膜电阻(2)外侧的致密隔离层(4)及连接铂膜电阻(2)与管脚(9)的引线(5)组成；黑白元件通过引线(5)的另一端与固定在管座(8)。上的两管脚(9)相连而组成整个元件；元件的载体(6)含有氧化铱的添加剂。