| 发明名称 |
APPAREIL ET PROCEDE D'EXPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2536873(B1) |
申请公布日期 |
1991.10.18 |
| 申请号 |
FR19830018835 |
申请日期 |
1983.11.25 |
| 申请人 |
CANON KK |
发明人 |
KAZUO TAKAHASHI, HIROSHI SATO ET MASAO KOSUGI;SATO HIROSHI;KOSUGI MASAO |
| 分类号 |
G03B27/32;G03F7/20;G03F9/00;G05D3/12;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):G03F9/00;G03F7/26;G01B11/14;H01L21/66 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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