| 发明名称 |
AUTOMATIC CLEANING APPARATUS FOR DISKS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0412796(A3) |
申请公布日期 |
1991.10.16 |
| 申请号 |
EP19900308722 |
申请日期 |
1990.08.08 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY, LIMITED |
发明人 |
KUDO, HIDEO |
| 分类号 |
B08B7/04;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B08B7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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