发明名称 BEAM SPLITTER INCLUDING A DIFFRACTION GRATING AND ONE OF STEP SHAPED, INCLINED, OR CURVED TRANSPARENT SURFACE
摘要
申请公布号 US5054884(A) 申请公布日期 1991.10.08
申请号 US19900488863 申请日期 1990.03.05
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO. LTD. 发明人 KUBOTA, TOSHIHIRO
分类号 G02B5/18;G02B27/12;G02B27/42 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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