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发明名称
VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS MIT WERKSTOFFEN, BEISPIELWEISE MIT METALLEN
摘要
申请公布号
DE4010495(A1)
申请公布日期
1991.10.02
申请号
DE19904010495
申请日期
1990.03.31
申请人
LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE
发明人
STANG, WOLFGANG, DIPL.-ING., 6470 BUEDINGEN, DE
分类号
C23C14/34;C23C14/22;C23C14/35;H01J37/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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