发明名称 VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS MIT WERKSTOFFEN, BEISPIELWEISE MIT METALLEN
摘要
申请公布号 DE4010495(A1) 申请公布日期 1991.10.02
申请号 DE19904010495 申请日期 1990.03.31
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 STANG, WOLFGANG, DIPL.-ING., 6470 BUEDINGEN, DE
分类号 C23C14/34;C23C14/22;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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