| 发明名称 |
FORMATION OF SINGLE CRYSTAL MAGNESIA SPINEL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03222347(A) |
申请公布日期 |
1991.10.01 |
| 申请号 |
JP19900016787 |
申请日期 |
1990.01.26 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TAGUCHI EIJI;YONEDA KIYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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