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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH03219650(A)
申请公布日期
1991.09.27
申请号
JP19900015563
申请日期
1990.01.24
申请人
TAKEDA SANGYO KK
发明人
BANDO KENJIRO;TOMOKAGE HAJIME
分类号
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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