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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03218075(A) 申请公布日期 1991.09.25
申请号 JP19900014154 申请日期 1990.01.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ONISHI HIDEAKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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