发明名称 |
PREPARATION OF THIN FILMY SUPERCONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03215319(A) |
申请公布日期 |
1991.09.20 |
申请号 |
JP19900007422 |
申请日期 |
1990.01.17 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NISHIKURA KUMIKO;ICHIKAWA HIROSHI;ADACHI HIDEAKI;SETSUNE KENTARO |
分类号 |
C01G15/00;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C16/30;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G15/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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