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发明名称 INNER LEAD BONDING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03215952(A) 申请公布日期 1991.09.20
申请号 JP19900011238 申请日期 1990.01.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KASHIMA NORIYASU;ATSUMI KOICHIRO;OKANO KEITARO;IKETANI YUKIHIRO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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