发明名称 SELECTIVE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH03214742(A) 申请公布日期 1991.09.19
申请号 JP19900011040 申请日期 1990.01.19
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD;NANNICHI YASUO 发明人 NANNICHI YASUO
分类号 H01L21/365;C30B25/04;C30B29/42;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/36 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
主权项
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