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发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0415252(A3) 申请公布日期 1991.09.18
申请号 EP19900116073 申请日期 1990.08.22
申请人 TAIYO YUDEN CO., LTD. 发明人 SEKIGUCHI, MIKIO, C/O TAIYO YUDEN CO., LTD.;IMAI, MIZUHO, C/O TAIYO YUDEN CO., LTD.;SHIBA, NOBUYASU, C/O TAIYO YUDEN CO., LTD.;IIDA, HIDEYO, C/O TAIYO YUDEN CO., LTD.
分类号 C23C18/02;B05B13/00;C03C17/00;C23C18/12;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/283;H01L21/288;H01L31/042;(IPC1-7):B05B13/00 主分类号 C23C18/02
代理机构 代理人
主权项
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