发明名称 PROTECTIVE COVER OF STAGE FOR SEMICONDUCTOR-WAFER MEASUREMENT
摘要
申请公布号 JPH03212946(A) 申请公布日期 1991.09.18
申请号 JP19900009374 申请日期 1990.01.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KAN GORO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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