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发明名称 FORMATION OF SIO2 FILM ON METALLIC SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03211285(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900005542 申请日期 1990.01.12
申请人 AISIN SEIKI CO LTD 发明人 NISHIMURA KAZUHIKO;YOSHIDA MUTSUMI;OI TAMIO;ISHII MASAMI
分类号 C23C18/12 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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